Smart SE od společnosti HORIBA Scientific je univerzální spektroskopický elipsometr pro rychlá a přesná měření tenkých vrstev. Charakterizuje tloušťku tenké vrstvy od několika angströmů do 20 µm, optické konstanty (n,k) a vlastnosti struktury tenké vrstvy (např. drsnost, opticky odstupňované a anizotropní vrstvy atd.).
Spektrální rozsah od 450 do 1000 nm je změřen během několika sekund a elipsometrická data jsou analyzována pomocí softwarové platformy DeltaPsi2. Software integruje dvě úrovně softwaru, které splňují jak rutinní analýzu s předdefinovanými recepty, tak pokročilou analýzu s nejmodernějším elipsometrickým modelováním.
Nevíte přesně co hledat nebo nevíte kde začít? Obraťte se na naše specialisty. Poradí vám ohledně správné volby přístrojů přesně pro vaše účely.
Nabízíme servisní činnosti na přístrojích. Provedeme instalaci, zaškolení, rekonstrukce a údržbu po celou dobu užívání.