HORIBA Auto SE

Auto SE je nový nástroj pro měření tenkých vrstev, který umožňuje plně automatickou analýzu vzorků tenkých vrstev pomocí jednoduchého ovládání. Analýza vzorku trvá jen několik sekund a poskytuje kompletní zprávu, která plně tenké vrstvy – tloušťky vrstvy, optických konstant, drsnosti povrchu a nehomogenit vrstvy. Auto SE je vysoce vybavený přístroj, který zahrnuje automatický stolek XYZ, zobrazování místa měření v reálném čase a automatickou volbu velikosti stopy. K dispozici je mnoho příslušenství pro širokou škálu aplikací.

Výhody:

• spektrální rozsah: 440-1000 nm
• velikost stopy: automatická volba 500×500 µm; 250×500 µm; 250×250 µm; 70×250 µm; 100×100 µm; 50×60 µm; 25×60 µm
• detekce: CCD – rozlišení: 2 nm
• goniometr: pevně nastavený na 70° – možnost nastavení na 66° a 61,5°
• přesnost: NIST 100nm d ± 4Å, n(632,8nm) ± 0,002
• opakovatelnost: NIST 15nm ± 0,2 Å