SUSS MicroTec Manuální/auto Mask Aligner MJB4 and MA/BA 6-8 Gen 4/5

SUSS MicroTec

SUSS MicroTec je synonymem pro špičkovou kvalitu a vysokou přesnost expoziční optiky pro litografické aplikace 3D, MEMS, NEMS, LED, výkonových polovodičů, fotovoltaiky, nanotechnologií a nanooptiky.  Soukrytování masek pro expozici substrátů shora (TSA) i zdola (BSA alignment) a také spojování substrátů až do průměru 300 mm pro výzkumné manuální modely technologií MJB i jejich plně automatické verze MA100 až MA300 Gen3.

  • Varianty pro substráty max. 150, 200, 300 mm
  • Nejvyšší úroveň přesnosti na trhu pro TSA i BSA
  • Energeticky úsporné LED zdroje osvitu, nízké provozní náklady
  • IČ osvit pro vícevrstvé substráty
  • Kontaktní i nekontaktní (proximity) režimy osvitu
  • Stabilní výsledky výrobního procesu díky optickému systému s mikročočkami (microlens)
  • Volitelné doplňky pro nanoaplikace (Nanoimprint) a SMILE (použití pružných polymerních masek)

 

speach bubbles Zeptejte se našich odborníků

Nevíte přesně co hledat nebo nevíte kde začít? Obraťte se na naše specialisty. Poradí vám ohledně správné volby přístrojů přesně pro vaše účely.

A. Gába
A. Gába
produktový specialista
+420 244 402 091
gaba@specion.cz
"V oboru materiálových technologií, studia povrchů a zkoušek v průmyslu se pohybuji několik desetiletí a rád se s vámi poradím o vašich aplikačních potřebách a s našimi špičkovými dodavateli přístrojů jistě najdeme řešení."
Zastoupení výrobci a naši partneři
Servis
Specion servis

Potřebujete záruční nebo pozáruční servis?

Nabízíme servisní činnosti na přístrojích. Provedeme instalaci, zaškolení, rekonstrukce a údržbu po celou dobu užívání.

Objednat servis
+420 244 402 091
Volejte pouze PO - PÁ 9 - 17h.