Leica EM ACE600

Leica EM ACE600 je automatizovaný systém určený k pokrývání vzorků kovovými nebo uhlíkovými vrstvami ve vysokém vakuu pro následné SEM a TEM analýzy. Přístroj vytváří reprodukovatelné výsledky v plně automatizovaném procesu s možností vytváření vlastních protokolů přípravy. Disponuje dvěma vyměnitelnými hlavami k naprašování nebo napařování. Použití duálního systému hlav umožňuje nanesení dvou vodivých vrstev současně bez porušení vakua. Systém volitelně nabízí integrované měření tloušťky nanesené vrstvy pomocí krystalu a doutnavý výboj (Glowdischarge).

Výhody:

• naprašování kovu a napařování uhlíku pomocí jednoho přístroje
• e-beam napařování
• dvě hlavy současně v libovolné kombinaci
• doutnavý výboj
• standardní, planetární a automatizovaný tříosý stolek na vzorky
• měření nanesené tloušťky pomocí krystalu přímo na stolku
• integrovaná membránová pumpa + turbo molekulární vývěva